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供应Circuit Scan® 1000磁扫描显微镜

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    产品概述: Circuit Scan® 1000磁扫描显微镜



工作状态中的半导体芯片会在器件表面附近产生外界磁场。这些磁场,虽然强度弱,却包含了芯片中电流强度的空间变化信息。微磁公司开发的CS1000可以实际分析应用这些信息,非损坏性地向工程技术人员展示芯片内部的工作情况。



CS1000是一台磁扫描显微镜。它可以捕获工作状态中的芯片产生的外界磁场,并对这些磁场进行分析,展示出电流强度的分布图像,其空间分辨度在几十个纳米级别。该系统采用具有知识产权,超敏感,高空间分辨率的亚微米级的磁传感器技术。这一技术最初由布朗大学的纳米物理及器件研究小组开发成功。

CS1000可以穿过绝缘体或非铁磁层绘制极小数量级的电流图像。它对芯片中电流信号具有非常好的线形关系。拥有知识产权的磁传感器具有宽范围的频率响应(0-5GHZ)和好的温度特性,不需要特殊的环境要求。另外,CS1000具有杰出的空间分辨度,截至目前,空间分辨度可以达到60纳米,远远小于目前半导体工业中先进的器件内部的导线宽度。

CS1000一些标准配置及功能,包括光学导航或近红外线导航,感兴趣区域的选择,磁场和电流强度图像的自动重叠,样品表面探测和绘图,样品倾斜度和轮廓曲线自动修正,五种不同的接触和非接触扫描模式,1个小接触面积的垂直磁传感探头,光学图像的自动弥合,自动变化测量参数的"重复扫描"功能,以及一整套自动矫正功能。

该系统同时包括一套独立的功能强大的VISTA分析软件,该软件具有灵活的数据展示方式及解释形式。一套量化分析软件用于择取所有的与电流参数相关的信息(包括电流幅度和导线宽度及深度),2套强大的电流强度转换算法,压缩数据文件类型,数据图像输出为常见文件类型,一套图像对比软件以及磁场图,电流图,和光学图的自动叠加功能。





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